设备的优点：

1、采用射频电源、自动匹配器，一键式操控。

2、低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料。

3、无环境污染、无化学品消耗。

4、可处理形状复杂和微细结构的材料。

设备的参数：

腔体材质 ：铝合金

供电电源 ： AC220V、1000W

溅射电压：MAX 2500V

溅射电流：MAX 30mA

靶材尺寸：直径57mm，厚度0.1~0.5mm

射频电源功率： 0-300W可调

射频频率： 13.56MHz

真空度：≤100Pa

气体路数：2路

气体流量：MFC气体质量流量计   500SCCM（可调）

控制： 触屏

清洗时间：1-6000s连续可调

处理尺寸：≤8寸

内腔尺寸：226mm（长）*126mm（高）*224mm（深）

外形尺寸： 620mm*560mm*410mm（宽*深*高）

重量：≈38KG

真空泵：飞越ARV-4