金属氧化物陶瓷湿度传感器

密析尔金属氧化物陶瓷湿度传感器的工作原理是两个导电层之间有一个多孔感湿层，感湿层能够自由地吸收水分子，吸收量的多少直接对应于水气分压。感湿层吸收水分后，导电层的电容特性随之改变，从而能够计算出（工况下）水露点值。

基于高分子的传感器——如密析尔SF82——是后来的发展。它们提供了更快的湿-干响应时间，测量范围通常在-60至60℃露点。其工作原理类似于平板电容器，一层薄薄的高分子吸湿层起到了电介质的作用，在上面是上极板，它起到了电极的作用，但也允许水蒸气通过它进入高分子。水蒸气分子进入或离开吸湿性高分子，直到水蒸气含量与环境空气或气体平衡。高分子的介电强度与水蒸气含量成正比。反过来，介电强度也会影响电容，对电容进行测量和处理，得到相对湿度的测量值。通过测量温度，还可以获得露点或绝对湿度值。