大样品台工业原子力显微镜

XE15大样品台工业原子力显微镜

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具体成交价以合同协议为准
2021-03-07 14:48:40
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产地类别:进口;应用领域:综合;
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进口
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综合
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八帆仪器设备(上海)有限公司

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产品简介

Park XE15大样品台工业原子力显微镜具有众多的*功能,是处理多种样品的共享实验室、进行多变量实验的研究院以及晶片故障分析工程师的理想选择。

详细介绍

Park XE15大样品台工业原子力显微镜概述:

Unique MultiSample™ scan boosts research productivity

Park XE15能够一次性扫描和测量多个样品,让您的效率一高再高。您只需要将样品放入工作台,再启动扫描程序便可。该功能也可以让您在相同的环境条件下扫描样品,从而提高数据的准确性和稳定性。

Large sample size increases possibilities

与大多数的原子力显微镜不同,Park XE15可扫描大尺寸为200 mm x 200 mm的样品。这样既满足了研究员对扫描大样品的需求,也让故障分析工程师能够扫描硅片。

Features adaptable to any need

Park XE15配有绝大多数的扫描模式,可扫描各种尺寸的样品。得益于此,Park XE15是共用实验室的配置,能够满足每个人的需求。

Park XE15大样品台工业原子力显微镜技术信息:

使用MultiSample™扫描进行方便的样品测量

Park XE15 MultiSample™ scan system
  • 一次性自动多样品成像
  • 特别设计的多样品卡盘,可装载多达16个样品
  • 全机动XY轴样品台,行程范围达150 mm x 150 mm

借助电动样品台,MultiSample™扫描模式能够允许用户自行编程,借助自动化步进扫描,实现多区域成像。

流程如下:
1.记录用户定义的多个扫描位置
2.在d一个扫描位置成像
3.提升悬臂
4.将电动样品台移至下一个用户定义坐标
5.探针接近
6.重复扫描

记录多个扫描位置十分简单,您可以输入样品-样品台坐标或使用两个参考点校正样品位置。该自动化功能大大减少您在扫描过程中需要的工作,大大提高了生产力。

通过消除串扰进行准确的XY扫描

Park Systems的*串扰消除(XE)扫描系统能够有效解决上述问题。我们使用了二维柔性平台专门扫描样品的XY轴位置,并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的Z轴位置。用于XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材,其具有超高的正交性和出色的平面外运动轨迹。柔性平台可在XY轴扫描大型样品(1 kg左右),频率z高达100 Hz左右。由于XY轴的带宽要求远低于Z轴的带宽要求,因此该扫描速度已然足够。用于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率(约10 kHz)。

二维柔性平板扫描仪,扫描范围为10 µm x 10 µm

XY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆,可在保持平面外运动少的情况下,实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度。紧凑且坚固的结构是为了低噪声高速伺服回应而设计的。

柔性High Force Z扫描仪

凭借着高强度压电叠堆和柔性结构,其可以允许扫描器以更高的速度纵向移动,这是传统原子力显微镜中扫描器所无法做到的。大Z轴扫描范围可从标准的12 µm增至40µm(选购远距离Z轴扫描器)。

滑动链接SLD

燕尾式轨道设计,轻松更换原子力显微镜镜头。借助超辐射发光二极管(SLD)的低相干性,显微镜可成像高度反光表面和精密测量pico-Newton力对距光谱。此外,超辐射发光二极管的波长也解决了干扰问题,让用户可随意在可见光谱实验中使用原子力显微镜。

多样本卡盘

特别设计的多样品卡盘,可装载多达16个样品,可由MultiSample自动扫描模式按序扫描。借助*的镜头设计,用户可从侧面轻易操作样品和探针。

无障碍样品架

*的镜头设计可扫描尺寸高为100 mm的样品,且可轻易从侧面更换样品和探针。

手动XY样品台

在手动XY轴样品台的控制下,样品的测量定位变得简单。XY轴样品台的行程范围是13 mm x 13 mm。

手动光学平台

同轴镜头可手动调焦。
  • 带有控制器板中的DSP板的Park XE控制电子设备

    原子力显微镜的纳米级信号是由高性能的Park XE电子控制器所控制和处理的。凭借着低噪声设计和高速处理单元,Park XE电子控制器成功实现了True Non-Contact™模式,这是纳米级成像和准确电压电流测量的理想选择。
    • 高性能处理单元,频率达600 MHz,处理速度高达4800 MIPS
    • 低噪声设计,带来准确的电流电压测量
    • 全能系统,融合各种扫描探针显微镜技术
    • 外部信号获取模块,获取原子力显微镜输入/输出信号
    • 大16幅数字图像
    • 大分辨率:4096 × 4096
    • 16位ADC/DAC,频率为500 kHz
    • 隔离通过TCP/IP连接的电脑电噪声

扫描模式

可扩展的AFM解决方案

支持Park行业中广泛的SPM模式和选项

现如今,研究院需要描述不同测量条件和样品条件下的各类物理性质。Park Systems带来业内多的扫描探针显微镜模式、多的原子力显微镜选择和兼容性和升级性,让样品*的表征扫描变得简单。

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