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Park XE15能够一次性扫描和测量多个样品,让您的效率一高再高。您只需要将样品放入工作台,再启动扫描程序便可。该功能也可以让您在相同的环境条件下扫描样品,从而提高数据的准确性和稳定性。
与大多数的原子力显微镜不同,Park XE15可扫描大尺寸为200 mm x 200 mm的样品。这样既满足了研究员对扫描大样品的需求,也让故障分析工程师能够扫描硅片。
Park XE15配有绝大多数的扫描模式,可扫描各种尺寸的样品。得益于此,Park XE15是共用实验室的配置,能够满足每个人的需求。
借助电动样品台,MultiSample™扫描模式能够允许用户自行编程,借助自动化步进扫描,实现多区域成像。
流程如下:记录多个扫描位置十分简单,您可以输入样品-样品台坐标或使用两个参考点校正样品位置。该自动化功能大大减少您在扫描过程中需要的工作,大大提高了生产力。
Park Systems的*串扰消除(XE)扫描系统能够有效解决上述问题。我们使用了二维柔性平台专门扫描样品的XY轴位置,并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的Z轴位置。用于XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材,其具有超高的正交性和出色的平面外运动轨迹。柔性平台可在XY轴扫描大型样品(1 kg左右),频率z高达100 Hz左右。由于XY轴的带宽要求远低于Z轴的带宽要求,因此该扫描速度已然足够。用于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率(约10 kHz)。
特别设计的多样品卡盘,可装载多达16个样品,可由MultiSample自动扫描模式按序扫描。借助*的镜头设计,用户可从侧面轻易操作样品和探针。
支持Park行业中广泛的SPM模式和选项
现如今,研究院需要描述不同测量条件和样品条件下的各类物理性质。Park Systems带来业内多的扫描探针显微镜模式、多的原子力显微镜选择和兼容性和升级性,让样品*的表征扫描变得简单。