一、FS5001L系列气体流量传感器产品描述

FS5001L-1000-EV-H气体流量传感器

FS5001L系列气体流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。

二、FS5001L气体流量传感器产品特点

传感器灵敏度高，有极小的始动流量

表贴式安装，结构紧凑

多种信号输出

零点稳定度高

全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性

低功耗、低压损

产品介绍：

FS5001L系列气体质量流量传感器是为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。

三、FS5001L气体流量传感器机械尺寸

四、FS5001L气体流量传感器技术参数

五、FS5001L-1000-EV-H气体流量传感器

传感器灵敏度高，有极小的始动流量
表贴式安装，结构紧凑
多种信号输出
零点稳定度高
全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
低功耗、低压损