微流控芯片流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有很好的精度与重复性。采用新一代MEMS传感器芯片技术，内置有温度传感器，每只都进行专有的温度补偿校准，同时具有线性模拟电压输出，使用方便。流量传感器还被广泛应用于工业过程控制、空气和环境保护、便携式仪器等领域，在工业生产、科学实验、产品质量把控、生产效率提高、能源节约等方面发挥着重要作用。
 

　　

　　微流控芯片流量传感器将测量到的实际值馈送到电子控制部分与面板设置值比较，利用两者间的误差控制伺服阀门来调节吸入和呼出气体流量；安装在吸气系统前端的空气和氧气流量传感器生成的信号能帮助微处理器对阀门进行控制，以提供所需要的氧浓度；流速和流量的检测值还直接影响到呼气与吸气时的切换、分钟通气量上下限的报警、流量触发灵敏度、气流实时波形和P－V－环的监测显示等等，可见，流量传感器性能的好坏直接影响到呼吸机参数的准确性和可靠性。微流体流量传感器为热差式传感器，通过接触方式测量各种液体的流速。

　　

　　微流控芯片流量传感器用于准确测量微流控装置中的流量，实现双向流速测量（正向和反向），具有高化学兼容性。我们压力控制器系统（OB1MK3+多通道压力真空控制器，AF1单通道压力泵）都可以与微流体流量传感器结合，用于直接监测和控制流量。流量测量范围：0.07μl/min‒40,000μl/min响应时间：<40ms误差：<测量值5%兼容水和各种有机溶剂，双向测量流速。