激光三维表面轮廓仪对材料表面三维轮廓测量、粗糙度测量、宽度、高度、角度、半径、粗糙度等二维及三维数据分析，无需拼接即可直接测量大面积样品。利用光的干涉，可以快速、准确、高度检测1nm~10mm高度模型的曲面想象。与接触方式相比，不会对被测物造成任何损坏。与共焦模式相比，高分辨率的力无关放大倍率可以得到统一的结果。与AFM相比，它可以在广泛的测量领域中快速测量。

 

　　

　　激光三维表面轮廓仪中央组件扫描模块（x/y方向样​​品扫描）可以与不同的传感器（z方向测量）一起使用。目前主要配置是连接CF4激光共焦传感器。在CF4激光共焦传感器中，被照射的孔在被测表面上成像，激光束通过物镜快速上下移动，聚焦到被测物体上。只有当焦平面与真实表面上的点配对时，探测器才会记录表面信号。因此，物镜必须移动一个小的垂直步距，以便通过位移传感器的位置移动来测量信号。根据特殊的插值技术，系统的精度可以达到10nm以下。

　　

　　1、高分辨率0.1nm。

　　

　　2、在任何放大倍率下，分辨率都是统一的。

　　

　　3、测量纳米级。

　　

　　4、测量高速、高精度、高分辨率的性能图像。

　　

　　5、可测量透明/半透明/不透明样品。

　　

　　6、无需无损，可轻松测量预处理程序。

　　

　　6、出色的重复性、准确性和再现性。

　　

　　激光三维表面轮廓仪集图像采集、图像处理和网络通讯于一体。它使用超高速处理器来收集和处理数字信号。内置高动态范围CMOS传感器，可准确识别具有明暗差异的物体。它采用405nm蓝色激光，大大提高了测量精度，配备一套图形化软件开发平台和多种常用检测流程包，大大降低了客户的使用门槛。