大型非接触式3D激光扫描仪是一款准确可靠的三维(3D)测量高速共聚焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微镜图像。它在测量和检测微型三维结构方面拥有理想的解决方案，例如半导体晶圆、FPD产品、MEMS器件、玻璃基板和材料表面。

　　

　　大型非接触式3D激光扫描仪能有效处理不一致性问题，让用户不再为成本增加、生产和零件审批延迟而烦恼。该系统可用于生产工具、夹具、配件、半成品或成品的逆向工程和尺寸检测。测量尺寸在0.2M~6m之间，精度可达0.064mm。采用光学测量方式，测量精度不易受环境变化影响。因此，它是车间质量控制测量解决方案的选择。它不需要固定的测量设置，无论环境发生什么变化都不会影响其性能水平。可以帮助操作人员更好地管理生产过程，更快地满足制造业对质量控制（QC）的更高要求，同时不影响生产效率。
 

　　

　　大型非接触式3D激光扫描仪是测量低维材料的有前途的解决方案。它可以测量微米和亚微米结构的高度、宽度、角度、面积和体积，例如：

　　

　　1、半导体：IC图形、凸点高度、线圈高度、缺陷检测、CMP工艺。

　　

　　2、FPD产品：触摸屏检测、ITO图案、LCD列间距高度。

　　

　　3、MEMS器件：结构3D轮廓、表面粗糙度、MEMS图形。

　　

　　4、玻璃表面：薄膜太阳能电池、太阳能电池纹理、激光图案。

　　

　　5、材料研究：模具表面检测、粗糙度、裂纹分析。