Sonotec  SEMIFLOW CO.65超声波夹式流量计

SEMIFLOW CO.65超声波夹式流量计非常适合半导体行业中使用各种磨料、粘合剂、腐蚀性和高纯度液体的一系列工艺。为了确保这些过程的稳定性和高质量，持续监测硬塑料软管和管道的流量非常重要。

这些传感器配备集成电子单元，可作为完整的流量计，其尺寸与小型传感器相同，无需外部电路板或测量传感器。

产品优势

高精度非接触式流量测量

创新的非接触式夹紧机构可防止污染和泄漏，从而延长正常运行时间

在 PFA、PTFE 和其他硬塑料软管和管道上的应用

更换或改造传感器时不会造成成本高昂的流程中断

用于潜在爆炸区域的传感器套件（ATEX / IECEx – Ex Zone 1）

支持所有常见工业接口

特征

用于半导体行业流量监测的SEMIFLOW ® CO.65 传感器

很好的测量性能

实时测量瞬时流量和体积计数

可靠的流量测量高达 400 l/min

精度为 +/- 2%

塑料外壳 (PVC-C) 和塑料对接连接器 (PA)

技术参数

测量周期：10ms

工作电压：12 — 30VDC

最大能量消耗：30mA

环境温度：0 — +90°C

SEMIFLOW CO.65 超声波夹式流量计应用领域

晶圆清洗系统

光刻系统

搅拌站

化学品供应系统

浆料线

Sonotec  SEMIFLOW CO.65超声波夹式流量计