分辨率Z轴（垂直）

0．01μm/±20μm   0．02μm/±40μm   0．04μm/±80μm

测量参数

Ra、Rz==Ry(JIS)、Rq、Rt==Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr

显示范围

Ra,Rq：0.005μm~16μm；Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,：0.02μm~160μm Rsm, Rs：1mm；Rmr：0~100%；Rsk：0~100%

图形

支承率曲线，粗糙度轮廓，直接轮廓

滤波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取样长度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

评定长度（ln）

Ln= lr×n n=1~5

测量原理

位移式差动电感

触针

天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径

测力

<4mN

导头

硬质合金，滑行方向半径40mm

滑行速度

lr=0.25, Vt=0.135mm/s   lr=0.8, Vt=0. 5mm/s   lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s

示值误差

不大于±10%

示值变动性

不大于6%

电源

内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电

外形尺寸

158x63.5x46mm

重量（主机）

约300g

工作环境

温度：- 20℃ ~ 40℃   湿度：< 90% RH

储存运输环境

温度：- 40℃ ~ 60℃   湿度：< 90% RH