XD-1000A特点

   1、多导毛细光学系统和高性能SDD探测器：区别金属准直，多导毛细管可将光束缩小至10 μm（可选择的多导毛细管，@ 35 μm、25 μm、15 μm、5 μm FWHM等），同时得到数千倍的强度增益。可测量超微小样品的同时保证了测试的准确性及稳定性，在测量纳米级Au厚度或薄膜层厚度及成分时，满足微小光斑、短测量时间的同时，达到测量效果。

   2、微米级超小区域：在Elite-X光学系统设计下大大降低检出限，纳米级超薄镀层均可准确、可靠测试

   3、广角相机：样品整体形貌一览无余，且测试位置一键直达

   4、搭配高分辨微区相机：千倍放大精准对焦测试区域，搭配XY微米级移动平台，三维方向对焦聚焦测试点位，误差<±2 μm

   5、多重保护系统：V型激光保护，360°探入保护，保护您的样品不受损害，保证仪器安全可靠的运作

   6、全自动移动平台：可编程化的操作，针对同一类型样品，编程测试点位，同一类样品自动寻路直接测试

   7、人性化的软件：搭配EFP核心算法软件，人机交互，智慧操作

   8、可搭配全自动进送样系统，与您的产线配合

XD-1000A  应用领域