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LW400T大平台有限远芯片检查显微镜
LW400T广泛的应用于透明,半透明或不透明物质的观测。本仪器配有大移动范围的载物台,落射照明器、平场金相物镜,大视野目镜,图像清晰、衬度较好,同时配有偏光装置,是专门为检测晶圆而设计制造的。
大平台有限远芯片检查显微镜标准配置
目镜 | 大视野 WF10X(Φ18mm) |
物镜 | 长距平场消色差物镜(无盖玻片) PL 5X/0.12 |
长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L10X/0.25 | |
长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L20X/0.40 | |
长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L40X/0.60 | |
长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L80X/0.80 | |
目镜筒 | 三目镜,倾斜30?,(内置检偏振片,可进行切换) |
落射照明系统 | 6V 20W卤素灯,亮度可调 |
落射照明器带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,(黄,蓝,绿)滤色片和磨砂玻璃 | |
调焦机构 | 载物台升降,粗微动同轴调焦, 微动格值0.7μm, 粗动松紧可调,带锁紧和限位装置 |
转换器 | 五孔 (外向式滚珠内定位) |
载物台 | 三层机械移动式尺寸: 280mmX270mm,移动范围: 204mmX204mm |