优点：  

1.多元素与此同时验出工作能力。  

可与此同时检验一个试品中的多个元素。一个试品一旦激起，试品中各元素都各自发射出其特点谱线，能够做好各自检验而与此同时测量多个元素。  

2.深入分析速度快。  

试件大部分不需通过化学加工处理就可深入分析，且气体、液体试件均可直接深入分析，与此同时还可以多元素与此同时测量，若用等离子光谱仪，则可在几分钟内与此同时作很多元素的定量分析测量。  

3.可选择性好。  

等离子光谱仪主要是因为光谱的具有特征强，因此相对于某些物理性质极类似的元素的深入分析有着非常主要的实际意义。如铌和钽、铣和铪、几十种稀有元素的深入分析用别的方式都很艰难，而对AES来讲是没什么艰难之举。  

4.检测限低。  

通常情况下等离子光谱仪可以达到0.1——1ug·g——1，值可以达到10——8——10——9g。用电感器藕合等离子（ICP）新灯源，检测限可低至量级。  

5.用ICP灯源时，精确度高，校准曲线的线形区域宽，可以达到4——6个量级。可与此同时测量高、中、低的含量的差异元素。所以ICP——AES已普遍使用于各行各业当中。  

6.试品耗费少，适用于大批量试品的多组分测量，尤其是定性分析更展示出*的优势。