高纯气体中杂质含量色谱分析
时间:2021-08-13 阅读:1852
GC3500氦离子化气相色谱仪,配有VICI高灵敏度氦离子化检测器(PDHID)
和配套的脉冲高压电源、氦气净化器。仪器设置有带有载气吹扫保护的四阀多柱分析系统。对各种
超纯气体具有前组分切除、中心组分切割、后组分排空的通用性分析功能。针对不同被测气体,配置适用的
多柱系统,就可实现对各种超纯特种气体中有关PPb级痕量杂质的检测。
产品特点
·成套进口的PDHID氦离子化检测器、脉冲高压源、氦气净化器、保证了最高检测灵敏度及稳定性;
·带有被测样品的前组分切除、中心组分切割、后组分吹扫排空的多柱分析系统,对各种分析样的适应性强;
·带有载气吹扫保护功能并可恒温控制的十通、六通、四通阀。
·预柱与分析柱单独分开温控,便于调试、便于获得最佳分离分析条件。
·具有进样系统预冲洗系统,使进样准确度高、稳定性快、使取样气体用量少、防止了环境空气中O2、N2的干扰。
·具有电脑反控和10/100M以太网通信接口及内置工作站,可实现远程监管。
PDHID对六种气体(杂质)组分的检测限(PPb)
杂质种类 | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 |
PDHID | 15 | 5 | 5 | 10 | 5 | 10 |
PDHID对五种气体(杂质)组分的检测限(PPm)
杂质种类 | Ne | SO2F2 (硫酰氟) | S2OF2 (亚硫酰氟) | S2OF10 (十氟一氧化二硫) | SF6 (六氟化硫) |
PDHID | 4 | 28 | 40 | 33 |
GC-3500 氦离子化气相色谱仪
GC-3500氦离子化气相色谱仪适用于高纯氢、氧、氩、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等气体中痕量杂质的检测,仪器配备高灵敏度的脉冲氦离子化(PDHID)检测器,采用中心切割与反吹技术,配置具有吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气纯化器,通过无死体积取样或在线进样方式,一次性完成上述高纯气体中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2等常见杂质或C1-C4等碳氢化合物的检测,检测限达ppb级,重复性RSD≤1%。上海立谱精密仪器有限公司
一、适用标准:
GB/T3634.2-2011 《纯氢、高纯氢和超纯氢》 GB/T 14599-2008《纯氧、高纯氧和超纯氧》
GB/T 8979-2008《纯氮、高纯氮和超纯氮》 GB/T 4842-2006《氩》
GB/T 4844-2011 《纯氦、高纯氦和超纯氦》 GB/T 17873-1999《纯氖》
GB/T 5829-2006《氪气》 GB/T 5828-2006《氙气》
HG/T 3633-1999《纯甲烷》 GB 10621-2006《食品添加剂 液体二氧化碳》
GB/T 23938-2009 《高纯二氧化碳》 GB/T 28125.1-2011《空分工艺中危险物质的测定》
二、技术参数:
1、检测限(ppb):
一般杂质 | ||||||
杂货种类 | H2 | O2(Ar) | N2 | CH4 | CO | CO2 |
检测限 | 5 | 10 | 10 | 5 | 25 | 5 |
碳氢化合物 | |||||||||
杂质种类 | C2H4 | CH4 | C2H2 | C2H6 | C3H6 | C3H8 | C4H8 | C4H10 | iC4H10 |
检测限 | 20 | 5 | 10 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
2、温控指标:
柱箱:室温上8℃-400℃ 精度±0.1℃
进样器:室温上8℃-400℃ 精度±0.1℃
检测器:室温上8℃-400℃ 精度±0.1℃
温控数量:六路
程序升温:九阶
升温速率:1℃~40℃
降温速度:7分钟以内(350℃到50℃)
3、氦离子化检测器(PDHID):
上海立谱精密仪器
放电模式:脉冲放电
基线噪声:≤0.1mv
基线漂移:≤0.5mv/30min
检测限:≤1.0×10¯10g/ml
4、载气纯化器:
可纯化气体:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
最大操作压力:1000Psi
去除气体:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
残留浓度:≤10ppb
三、系统配置:
(1)GC3500氦离子化气相色谱仪
(2)脉冲氦离子化检测器(PDHID)
(3)氦气纯化器
(4)标准气体
(5)专用色谱柱及阀串联系统
(6)载气专用减压阀
(7)色谱工作站