1、仪器应放在清洁干燥的室内(室温20℃±2℃，湿度低于60%)，避免光学零件表面污损、金属零件生锈、尘埃杂物落入运动导轨，影响仪器性能。

2、仪器使用完毕，工作面应随时擦拭干净，最好再罩上防尘套。

3、仪器的传动机构及运动导轨、应定期上润滑油，使机构运动顺畅，保持良好的使用状态。

4、工作台玻璃及油漆表面脏了，可以用中性清洁剂与清水擦拭干净。绝不能用有机溶剂擦拭油漆表面，否则，会使油漆表面失去光泽。

5、仪器LED光源使用寿命很长，但当有灯泡烧坏时，请通知专业人员为您更换。

6、仪器精密部件，如影像系统、工作台、光学尺以及Z轴传动机构等均需精密调校，所有调节螺丝与紧固螺丝均已固定，客户请勿自行拆卸，如有问题请通知厂商解决。

7、软件已对工作台与光学尺的误差进行了精确补偿，请勿自行更改。否则，会产生错误的测量结果。

8、仪器所有电气接插件、一般不要拔下，如已拔掉，则必须按标记正确插回并拧紧螺丝。不正确的接插、轻则影响仪器功能，重则可能损坏系统。