综述：

太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被满足一定照度条件的光照到，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏。太阳能芯片的表面微观形貌、原料和工艺对电池电性能影响很大，需要扫描电镜进行观测，从而控制电池质量。

仪器介绍：  

EM科特扫描电镜，根据样品仓大小或拓展分析附件能力，分为 CUBE系列扫描电镜、GENESIS系列扫描电镜、VERITAS系列扫描电镜。

试验方法：

取不同工艺进程的电池芯片直接放入扫描电镜中观察。快速观察模式，照相时间 10s

结论：

EM科特扫描电镜，可满足硅太阳能电池制造工艺控制检测需要。采用CUBE台式扫描电镜或GENESIS系列扫描电镜，需要切割芯片。使用VERITAS 系列扫描电镜可观察整块芯片，无损检测。

1、晶圆制绒结构扫描电镜图像

2、晶圆表面Saw damage etching

3、铝浆电极扫描电镜图像

4、银浆电极扫描电镜图像

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