以白光干涉技术为原理的3d光学轮廓仪，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

3d光学轮廓仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。它所具有技术竞争力在于接触式和光学三维轮廓仪的结合。通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。

3d表面轮廓仪结构组成：

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；

3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；

5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；

6、微电子表面分析和MEMS表征。

主要应用领域：

1、用于太阳能电池测量；

2、用于半导体晶圆测量；

3、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量；

4、用于机械部件的计量；

5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。

3d光学轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能，以及粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，可以对各种产品、部件和材料表面的平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。