我厂某高新产品基座需作平面度，该平面与大地有一75°的倾角，传统上，我厂大平面测量平面度用拉钢丝或平面扫描仪的办法，因挠度和人为误差的影响，拉钢丝测量结果精度太低，平面扫描仪只能作接近水平的平面度，故这两种传统方法都无法测量。后来采用瑞典EASY-LASER™激光几何测量系统，方法简单，测量精度高，为该高新产品如期高质量的完成打下良好的基础。现将该方法作一介绍。

1.测量原理

采用激光的直线性（无挠度）的特性，将一旋转激光发射器放置在被测平面任一角，调整后将其激光扫过一个90度范围的平面，另有一高精度（0.001mm）接受器 依次按工艺要求在被测平面的分布点上，读取每一个位置相对于激光平面垂直于平面方向上的偏移量。在主机里将这些数据记录后，按工艺要求选择三点作为基准，这样，其他点的偏差量就会计算出来。

2.软件数据处理

大量的被测数据经主机处理后，可根据不同工艺要求得出相应的结果，如：

NumRef       Value

X1 Y1Ref      0.000  

X1 Y2        -0.070

X1 Y3      0.407

X1 Y4        -0.055

X1 Y5Ref      0.000

X2 Y1      0.136

X2 Y2      0.202

X2 Y3      0.291

X2 Y4      0.052

X2 Y5     -0.181

X3 Y1      0.348

X3 Y2      0.294

X3 Y3      0.069

X3 Y4      0.096

X3 Y5Ref      0.000

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Max         0.407

Min         -0.181

Peak-Peak     0.588

Average level  0.106

Standard dev.  0.139

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Flatness Rms      0.138

①工艺只加垫片， 则选最高三点为基准，其余数据全为负值，负多少，则加多少垫片。

②工艺只能打磨，则选zui低三点基准，其余数据为正值，正多少，则打磨多少。

③工艺既可加垫片，又可打磨，则可优化自动选三点基准，使其加工量最小。

④关键点在中央区，则可选取中央区为基准。

⑤关键点在边缘区，则可选边缘区为基准。

⑥数据结果有平面度有效值，偏差峰峰值，平均平面，标准等参数供选取。

3.激光测量法的优点

①高精度，该系统可在R≦40m范围内，保证0.001mm的精度，传统的方式一般在0.01—0.1mm精度。

②测量范围大，因激光无挠影响，故可测量R≦40m的平面，而传统方式，这样大平面根本无法测试。

③人为误差小，传统办法测量时，不同操作人员因钢丝松紧、人工读数等人为因素，数据受人为因素影响较大。而激光测量法由仪器自动读取数据，人为误差大大减小。

④强大数据处理功能，见二介绍，而传统方式数据需要人工处理，工作量大，误差大。

4．与传统方法比较