一、工作原理：

　　场发射扫描电子显微镜的原理是利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析，是我们材料研究分析中一双亮丽的“眼睛”。

　　

　　扫描电镜按照电子枪分类可以分为钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射(FieldEmission)三种，场发射扫描电镜相比于钨灯丝、六硼化镧，具有电子束斑小、高分辨率、稳定性好等特点。

　　

　　二、优点：

　　1、有较高的放大倍数，20-30万倍之间连续可调；

　　2、有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；

　　3、试样制备简单，目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪（EDS）装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。

　　

　　三、检测范围：

　　1、金属、陶瓷、高分子、矿物、半导体、纸张、化工产品的显微形貌观察及材料的晶体结构、相组织分析;

　　2、各种材料微区化学成分的定性定量检测;

　　3、粉末、微粒、纳米样品形态观察和粒度测定;

　　4、机械零件与工业产品的失效分析;

　　5、镀层厚度、成分与质量测定;

　　6、生物、医学和农业等领域。