电子显微镜通过发射电子与样品相互作用成像，用来“照射”样品的可靠电子源是电镜最重要的部分之一。电子显微镜对电子束的要求非常高。目前只有两种电子源满足要求：热电子发射源和场发射电子源。目前商用的，热电子发射源用的是钨灯丝（较少见）或六硼化镧（[公式]）晶体（较常见）；场发射电子源用的是很细的针状钨丝（具体分为肖特基发射源和冷场发射源）。

　　

　　一、主要特点：

　　1、配备加速电压减速功能，具有优秀的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达0.8nm，15kV达到0.7nm，高低电压均可满足高分辨的观察。

　　2、E×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品。

　　3、放大倍数范围为20-1000K倍。

　　4、最大兼容4英寸样品。

　　5、具有EDS功能。

　　

　　二、主要用途：

　　冷场发射电子显微镜主要用于工艺过程中，光刻、刻蚀等工艺监控及表面微区的成分分析。

　　

　　随着电子显微技术的蓬勃发展，扫描电子显微镜因其图像分辨率高、景深长、图像更富立体感、放大倍数可调范围宽等优点，已在自然科学研究领域获得广泛应用，并对科学技术的发展有着巨大的推动作用。