等离子镀膜设备是一种小型射频（RF）等离子磁控溅射镀膜仪器系统。该系统包括所有必需的配件，如300W（13.5mhz）射频电源、2"磁控溅射头、石英真空室、真空泵和温度控制器。它是制作一些金属和非金属的又好又便宜的实验帮手。

　　在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的重要因素。因此，在评价薄膜样品的性能时，需要对薄膜样品在不同厚度下的性能进行测试。等离子镀膜设备集成了真空镀膜系统和手套箱系统，可在高真空蒸发室中完成薄膜蒸发，并将蒸发后的样品在手套内的高纯惰性气体气氛中储存、制备和检测盒子。蒸发镀膜与手套箱相结合，实现了蒸发、封装、测试等过程的全封闭生产，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个环境气氛可控的完整系统中，消除了不稳定因素的影响。有机大面积电路制备过程中的大气环境因素，保证了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。

　　

　　设备性能：

　　1、自动化控制，镀膜时只需设定薄膜厚度，镀膜过程自动完成；

　　2、锇存储器可拆卸：具有密封式结构，可冷冻保存；

　　3、镀膜时间短：只需几秒钟膜厚就可以达到纳米级；

　　4、装有互锁回路：一但OsO4气体进入腔体，真空不达标，腔体就无法打开；

　　

　　锇等离子镀膜仪的应用：

　　SEM、FE-SEM样品镀导电膜

　　TEM（FIB）样品镀保护膜

　　AFM样品镀保护膜

　　STM样品镀保护膜以及导电膜

　　TEM样品镀支持膜