一、影响溅射率的因素

　　溅射率是描述溅射特性的一个最重要物理参量。它表示正离子轰击靶阴极时，平均每个正离子能从阴极上打出的原子数。溅射率与入射离子的种类、能量、入射角度及靶材的类型、晶格结构、表面状态、升华热大小等因素有关，单晶靶材还与表面取向有关。

　　

　　二、离子溅射仪常见故障，分以下四种：

　　1、故障现象：使用一段时间后，溅射电流变小

　　解决方法：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换，后者被油蒸汽污染，通过无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空。

　　

　　2、故障现象：在使用一段时间以后，有着过低的真空。

　　解决方法：对溅射室中或管道内是否有油进行检查，能够使用汽油进行清洗。

　　

　　3、故障现象：溅射电流不稳定忽高忽低

　　解决方法：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整。

　　

　　4、故障现象：有着过低的真空

　　解决方法：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧。