通常人眼能够分辨的最小距离为0.2MM，为了观察分析更微小的细节，人们发明了各种观察仪器。首先出现的是光学显微镜，它利用可见光作为照明束照射样品，再将照明束与样品的作用结果由成像放大系统处理，构成适合人眼观察的放大像。一般而言光学显微镜能分辨的最小距离约为200um，是人眼的一千倍。

　　为突破光学显微镜的分辨极限，人们想到用电子束做照明束，并与上个世纪三十年代制造出了第一台扫描电子显微镜。它的分辨率已经达到了原子水平（≈0.1um），比光学显微镜提高了近两千倍。

　　

　　场发射扫描电子显微镜检测范围：

　　1、金属、陶瓷、高分子、矿物、半导体、纸张、化工产品的显微形貌观察及材料的晶体结构、相组织分析；

　　2、各种材料微区化学成分的定性定量检测；

　　3、粉末、微粒、纳米样品形态观察和粒度测定；

　　4、机械零件与工业产品的失效分析；

　　5、镀层厚度、成分与质量测定；

　　6、生物、医学和农业等领域。