轮廓仪分接触式轮廓仪和光学轮廓仪二种，其中接触式轮廓仪采用直角坐标测量法，触针接触式。光学轮廓仪利用白光干涉测量技术可以便捷地，非接触式地测量3D台阶高度，粗糙度和表面形貌。

NanoX-2000/3000系列3D光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量（PSI）、白光垂直扫描干涉测量（VSI）和单色光垂直扫描干涉测量（CSI）等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性（稳定性）定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。