离子溅射仪常见故障

　　故障现象：使用一段时间后，溅射电流变小

　　解决方法：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换，后者被油蒸汽污染，通过无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空。

　　故障现象：在使用一段时间以后，有着过低的真空。

　　解决方法：对溅射室中或管道内是否有油进行检查，能够使用汽油进行清洗。

　　故障现象：溅射电流不稳定忽高忽低

　　解决方法：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整。

　　故障现象：有着过低的真空

　　解决方法：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧。