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场发射扫描电子显微镜与透射电子显微镜之间的比较

时间:2023-03-21      阅读:583

    场发射扫描电子显微镜是高分辨率电子显微镜中的一种,相对于透射电子显微镜(TEM),其最大的区别在于扫描电子显微镜(SEM)中的电子束是以特定方式扫描样品表面,而不是穿过样品内部,从而可以获得样品表面的图像和信息。以下是扫描电子显微镜的一些具体区别:
 
  1.分辨率:SEM的分辨率通常在纳米至亚纳米级别,比TEM要稍低一些,但对于样品表面形态和结构的观察和分析,已经足够应用于许多领域。
 
  2.样品要求:由于扫描电子显微镜是在真空条件下进行操作的,因此样品必须是干净的、不易挥发的、导电性强的,如金属、陶瓷或者没有太多的表面草酸盐的非金属材料,但这个限制已经不是很大的问题,因为有很多方法可以用于处理样品的电导性和表面清洁。
 
  3.成像模式:TEM在成像时是通过成像镜头在样品内部进行成像的,而SEM则是通过电子束扫描在样品表面进行成像。SEM的扫描模式分为两种,一种是图案成像模式,类似于电视屏幕的成像方式,每次扫描一个图案进行成像;另外一种是逐行成像模式,类似于传统电子显微镜,但只扫描样品表面,成像时需要对样品进行一定程度的运动以获得整个样品表面的图像。
 
  4.成像信息:SEM可以提供样品表面形貌及其微观结构、表面元素成分和形态分布等更为具体的信息,而TEM则可以提供样品内部的微观结构信息。
 
  总之,场发射扫描电子显微镜作为一种*的显微技术,越来越得到广泛的应用,不仅在物理学、化学、材料学等基础科学研究中,还在医学、生物学、电子工程、环境保护和地球科学等领域中发挥了重要作用。
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