1.安全操作。离子溅射仪在工作时需要产生高压电、高速气流、辐射等危险因素，因此在工作时需要使用安全防护措施，佩戴防护服、防护手套、眼镜、口罩、耳塞等防护工具，以保障人身安全。

 

　　2.检查设备。使用离子溅射仪前，需要仔细检查并确保所使用的设备、仪器的正常运行，需要对离子源、靶材、镜片、离子束流等设备的运行状态进行检查，确保设备没有任何故障或者漏电现象。

 

　　3.正确操作。在操作离子溅射仪时，需要严格遵守操作规程和注意事项，熟悉操作步骤和要点，防止误操作发生。需对读取仪器的数据进行熟悉并分析。

 

　　4.合理选择靶材和溅射离子。材料的物理性质与溅射过程有关，需要根据自己所需制备的薄膜的特点，选择相应的离子源、靶材、溅射气体等溅射条件。不同的靶材会产生不同的离子碰撞效应，从而影响溅射的物理过程，并最终影响制备薄膜的质量。

 

　　5.合理控制参数。离子溅射仪制备薄膜要控制的参数较多，如气压、气体流量、离子源电压、正极压力、靶材距离等。因此，在实际操作中，应该合理地控制这些参数，从而达到理想的效果。

 

　　总之，使用离子溅射仪需要具备严谨的操作技能与观察经验，在安全的前提下，遵循所需制备薄膜的特点和要求，合理地选择和控制参数，有效提高制膜的品质与成果。