特点：

 

　　1.高分辨率：日立扫描电镜具有高的空间分辨率，可以将细小的表面结构清楚地显示出来，有助于使用者识别微观物体的形态、纹理和组成。

 

　　2.大深度：相对于普通的电子显微镜，日立扫描电镜在成像过程中不会出现模糊，可以让使用者看到更多的物体信息以及更丰富的三维图像。

 

　　3.易于操控：用户可以通过计算机监控和操纵显微镜，方便、简单地实现电镜成像，提高了工作效率和成像质量。

 

　　4.应用广泛：日立扫描电镜适用于各种样品的成像与分析，帮助用户更好地了解物质的内部结构、成分和形态。

 

　　分类：

 

　　1.传统扫描电镜(SEM):传统的日立扫描电镜是最常见的电镜类型之一，其技术是通过利用高速扫瞄电子束，观察和检测微观材料表面的形态、结构、成分等特征，其利用范围广泛，可用于分析、制造、环境等领域。

 

　　2.聚焦离子束扫描电镜(FIB/SEM)：聚焦离子束扫描电镜可以对含有复杂材料的材料和小颗粒样品进行剖凿、切割、测量等工作，有很高的成像精度和分辨能力。主要应用于半导体/电子业的芯片制造以及石油/天然气勘探等领域。

 

　　3.低温扫描电镜(Cryo-SEM):低温扫描电镜使用冷却样品的技术，可以不同程度地去除样品热致损伤与失真、氢键断裂等。在材料学、细胞生物学等领域有重要的应用。主要适用于敏感、易变形的样品成像。

 

　　综上所述，日立扫描电镜具有高分辨率、大深度、易于操控、适用范围广等特点，并且根据不同的应用场合和技术要求，还被分为传统扫描电镜、聚焦离子束扫描电镜和低温扫描电镜等多种类型。