磁控离子溅射仪主要应用在哪些领域呢?
时间:2022-07-04 阅读:1293
磁控离子溅射仪主要应用在哪些领域呢?
1、在光学领域:中频闭场非平衡磁控溅射技术也应用于光学薄膜(如减反射膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃。
2、在装饰领域的应用,如各种全反射膜和半透明膜,如手机外壳、鼠标等。
3、作为一种非热涂层技术,应用于微电子领域。各种功能膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏振等功能的膜。例如,在低温下沉积氮化硅增透膜以提高太阳能电池的光电转换效率。
化学气相沉积(CVD)难以生长,不适合材料薄膜沉积,并且可以获得大面积非常均匀的薄膜。
5、在高温超导薄膜、铁电薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池和记忆合金薄膜的研究中发挥着重要作用。
6、在机械加工行业,表面功能膜、超硬膜和自润滑膜的表面沉积技术自诞生以来取得了长足进步,可有效提高表面硬度、复合韧性、耐磨性和高温化学稳定性,从而大大提高涂层产品的使用寿命。