离子棒SIMCO思美高快速消除静电

5635MP

Simco-lon Aerobar 5635 MP离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平衡，是设计用于有严格要求的半导体和超高洁净制程环境。它采用MP技术-把高频正弦周波和调制脉冲结合-产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这技术的突破使5635MP离子棒能安装在晶圆的15cm距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数整，使它能达到ISO14644-12 (0.01 μm或纳米等级微粒)和ISO 14644-1 Class 1 (0.1μm微粒)的洁净度。选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更远的工作距离。

离子风棒是种固定式的静电消除专用的设备。其属于棒式除静电产品中的一种。其拥有工作安全稳定、安装简易、去除静电速度较快等特点。目前主要作用于电子、丝印、塑胶、图像处理、印前系统之类的行业。

●ISO 14644- 12 (0.01 um微粒)洁净度

●调制脉冲技术

●合适的横向均匀度

●低电场电压

●吹气辅助功能

●选配的软件有易用的界面和宽阔的可调性

●警报输出信号

优点

●可兼容包括14 nm和以下的所有晶圆技术

●精准的正负平衡，和长期稳定高离子输出量

●整根棒的离子平衡都- -致

●可安全靠近晶圆或光罩，放置距离可近至15 cm

●在快速的自动设备，能增强消除静电的能力

●在任何环境都能快速设定和容易调至最佳效能

●能输出至设备或远端监控系统

产品图片

离子棒SIMCO思美高快速消除静电