关于等离子体放电研究

随着对等离子体表面处理设备的进一步了解，我们也想尝试对设备的工作原理和现象做一些介绍和演绎，希望能够帮助到大家更好理解和掌握等离子技术。

同时，对封闭式等离子体腔的气体压强、工作电压、气体成分 之间的关系进行了分析，探索了一种封闭腔体内获得高密度等离子体的方法

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压强变化对放电的影响

从腔体内压强变化的角度来看，当气压较低时，辉光放 电光谱强度随着腔体内气压的增加而增加，当真空腔内气压增加到一定程度时，出现拐点，光谱强度增 加缓慢并出现下降趋势，在140 Pa左右光谱强度最大

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电压（功率）对辉光放电的影响

从电压测试曲线可知，随着气压的升高，辉光放电时石英放电管所需电压逐渐降低，更易实现辉光放电。此时存在最佳放电电压350 V，及最佳放电气压140 Pa，可实现高效率电离。

从等离子体密度测试结果可知，密度变化与强度变化趋势基本吻合，随着强度增加，等离子体密度呈上升趋势。在140 Pa时，等离子体密度达到最大值，继续升高气压，辉光放电情况下等离子体密度呈下降趋势

由以上实验结果可以看出，在低气压封闭式等离子体腔体中，等离子体密度和腔体内填充气体压强有关，与腔体内填充气体种类有关。以纯氩气为工作气体，工作气压140 Pa，放电电压350 V的条件下，真空腔内等离子体密度可达5.62x10¹¹cm'³_o 等离子体密度随气压的增大，先增大后减小，在140 Pa左右取得最大值；氩气等离子体放电比填充氟气的等离子体放电等离子体密度高。在实际应用中，可以通过合理调控等离子体放电管中的气体压强、放电电压、气体成分等来获得高密度低气压封闭式等离子体。