通常气瓶的气体需要通过减压阀调节到一个比较低的压力才会连接到MFC。当气瓶压力过低时，就需要更换气瓶。但是有的客户在换上新的气瓶后发现MFC已经损坏了，这是为什么呢？ 

      首先我们需要了解一下减压阀的工作原理。

      手动调压阀是通过调节弹簧压紧量，使阀口打开，气体经过阀口流向后端，当出口压力逐渐上升到调定压力时，向上顶起膜片的气体压力逐渐增大，直到弹簧力和出口气体压力达到平衡。

      如果此时把气瓶拆掉，入口没有高压气体了，弹簧力会使减压阀的阀口开到一个比较大的开度。接上新的气瓶并打开气瓶开关后，高压气体突然进入减压阀，由于压力在气体中传播非常快，减压阀的阀口又开得比较大，高压气体会瞬间直接经过减压阀，传递到后端。减压阀膜片感应到出口气体压力上升，逐渐将阀口关小直至关闭。但是刚才的瞬间高压足以到达MFC内部，导致MFC的传感器损坏。

      因此正确的更换气瓶的做法是将减压阀关闭，再更换气瓶。或者在减压阀后接截止阀，更换气瓶时关闭截止阀，就可以有效保护MFC及整个系统了。