气体质量流量计【简称MFM】基于内部补偿型*层流压差技术，内置压力和温度传感器，能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异，可快速精确测量过程气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。用于精确和快速测量气体流量、泄露率检测或作为标准表进行量值传递与校准等。

特征：

l 原理：层流压差式原理

l 便捷操作：可触屏点击操作、读取流量，或者提供上位机软件操作。

l 核心优势：高精度、高重复性、快速响应

l 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内

l 实时显示5种过程变量

l 内置49种气体，，一键自由切换气体，无需查找、输入系数，并可自主编辑混合气体

l 无需预热时间，开机即可使用，即插即用。

产品规格：

l 产品型号：

S系列-带触摸屏系列流量计，可触屏操作读取数据，方便工况现场使用，无需电脑，像手机一样方便。

M系列：无屏幕系列流量计，可通过上位机软件操作、读取数据，适用配套用户，软件可同时测控16台流量计或控制器。

l 量程范围：0.5sccm~5000slpm

性能参数：

l 精度：±1.0%RD , ± 0.5%RD

l 重复精度：±0.2%F.S.    ±0.1%F.S.

l 压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压))

l 温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃）

l 工作范围：1%~120%F.S.

l 响应时间：≤100ms.

l 启动预热时间：1s

使用条件：

l 介质温度：-20℃~60℃

l 环境温度：-20℃~50℃

l 使用湿度：0%~98%（无冷凝）

l 工作压力：0~1Mpa

l 耐压：1.5Mpa

l 压损：4kPa~12kPa

l 供电电压：24V±20%

l 消耗电流：＜150mA （＜5V）

l 安装方式：任意角度

l 接气部材质：SUS304，SUS316L

l 进出口：管螺纹（内螺纹）

l 接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶

通讯方式：

l 数字信号：RS485，Profibus

l 模拟信号：4-20mA，0-5V

应用场景

l 配套流量校准平台的流量测量设备

l 实验中的气体流量测量

l 机械动力测试系统中的气体流量测量

l 材料制备实验中的中的气体流量测量

l 真空实验舱及真空试验系统中的气体流量测量

l 生物反应器实验装置中的气体流量测量

l 高精度实验仪器的研发和试制

l 分析测试仪器

易度智能层流压差式气体质量流量计通用于工业配套、高校研究院所实验室等气体流量测量。