产品型号

  1100℃双管三温区管式炉（石墨烯生长）GSL-1100X-III-D11-8

主要特点

  1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<70℃。内炉膛采用高纯度氧化铝材料，可以zui大程度的减少能量的损失

        。

  2、采用不锈钢真空密封法兰，使用硅胶密封圈进行密封。

  3、采用三个PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。

  4、加热前需将石英管堵放入炉管，防止热量以热辐射的形式散失。

  5、使用内管进行薄膜生长可放置zui大8″的基片。

  6、已通过CE认证。

技术参数

  1、电源：单相AC 220V  50/60Hz   8KW（需50A的空气开关）

  2、石英管：外管外径Φ279mm，内径Φ269mm，长1300mm，两端打开，可连接法兰

                        内管外径Φ216mm，内径Φ206mm，长750mm，一端封闭，一端连接气体出入口

  3、加热元件：NiCrAl电阻丝

  4、加热区域：长900mm

  5、温区：3个，各300mm长

  6、恒温区域：500mm（三个温区设置一样的温度）

  7、工作温度：zui高1100℃（<1h），连续工作200℃-1000℃

  8、zui大升降温速率：10℃/min

  9、热电偶：3个，K型

  10、控温精度：±1℃

  11、真空度：10^-2torr（机械泵）

  12、法兰：左侧法兰包括化学气相淀积进气口和冷却气体进出口，右侧法兰设有KF-40真空接口和真空阀门

产品规格

  尺寸：不包含真空法兰1300mm×623mm×940mm，包含真空法兰1670mm×623mm×940mm

  重量：200kg

可选配件

  1、石英管堵

  2、PC控温软件

  3、KF-40转KF-25接头