产品型号

  开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV

主要特点

  1、双层壳体，配有循环风冷系统，壳体温度<60℃。

  2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。

  3、采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。

  4、设有超温及断偶报警功能。

  5、已通过CE认证。

技术参数

  1、电源：AC 220V   50/60Hz  2.5KW

  2、石英管：外径Φ80mm，内径Φ75mm，长1000mm

  3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝

  4、加热区域：440mm

  5、恒温区域：150mm

  6、工作温度：zui高1200℃，连续工作1100℃

  7、zui大升降温速率：20℃/min

  8、控温精度：±1℃

  9、真空度：5.5×10^-3torr（机械泵），10^-4torr（分子泵）

  10、泄漏率：<5mtorr/min

  11、浮子流量计：3个；10-100ml/min，16-160ml/min，25-250ml/min

  12、压力表：4个

产品规格

  尺寸：管式炉550mm×380mm×520mm，混气系统600mm×600mm×597mm；重量：60kg