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PCE-8等离子清洗机是一款较大型的清洗机,等离子腔体为 Ø8.5"×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0- 100W连续可调节,采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,将对生长具有显著的作用。配有一个直连式双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。采用6″彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。内部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量。
产品型号 | PCE-8等离子清洗机 |
主要特点 | 1、采用6″彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。 2、内部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量。 |
技术参数 | 1、电源:AC220V 2、射频功率:zui大100W,可在0-100W间调节 3、真空泵功率:<500W 4、总功率:<600W 5、射频:13.56MHz 6、等离子腔体:高纯石英腔体,外径 Φ8.5 ",内径 Φ8.2 ",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密 封,法兰设有一个Φ60mm的观察窗口 7、极限真空度:50mtorr 8、通入气体:可通入多种气体,如N2、Ar、Air、H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定) |
清洗及蚀刻 |  |
产品规格 | 尺寸:620mm×450mm×600mm |
标准配件 | 1、直连式双旋真空泵(240L/min) 2、KF25波纹管 3、KF25手动挡板阀 |
可选配件 | 1、300W、600W射频电源(进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验) 2、2″-6″石英舟(盛放基片) 3、2-4通道浮子混气系统 4、2-4通道质子混气系统 |
