涂层厚度仪的测量原理及分类

材料表面保护和装饰形成的涂层，如涂、镀、涂、糊、化学成膜等。在相关国家和国际标准中称为涂料。

涂层厚度仪已成为加工工业和表面工程质量检测的重要组成部分，是产品达到优良质量标准的必要手段。为使产品国际化，我国出口商品和涉外项目中对涂层厚度有明确要求。

涂层厚度仪方法主要有楔形切割法、光切法、电解法、厚度差测量法、称重法、X射线荧光法、β射线背散射法、电容法、磁性测量法和涡流测量法。这些方法的前五种都是破坏性检测，比较复杂，速度慢，大多适合抽样检验。

x射线和β射线法为非接触、无损测量，但设备复杂、价格昂贵，测量范围小。由于存在放射源，用户必须遵守辐射防护规定。x射线法可用于测量极薄涂层、双层涂层和合金涂层。β射线法适用于原子序数大于3的涂层和基体的测量。电容法仅在测量薄导体的绝缘涂层厚度时使用。

随着科技的日益进步，特别是近年来微机技术的引入，磁法和涡流法厚度仪向小型化、智能化、多功能、高精度和实用化方向迈进了一步。测量分辨率达到了0.1微米，精度可以达到1%，有了很大的提高。它适用范围广，厚度仪测量范围宽，操作简单，价格低廉。它是工业和科学研究中应用比较广泛的厚度仪。

无损法不损伤涂层或基材，检测速度快，可以使大量的检测工作变得经济。

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