GRYLLS 6600 差压式气体质量流量控制器产品PDF资料
时间：2022-07-01 阅读：1215
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格里机电（无锡）有限公司 -
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Grylls6600差压式质量流量控制器 参数0.5sccm – 6000 slm 全量程 Grylls6600差压式质量流量控制器采用无热漂移，无响应滞后的差压质量测量原理，无热漂移，可以忽略的温移和时漂，长期稳定性0.1%F.S/年，准确度1.0%，量程可在100：1范围内按键设定，无需标定，可以同时显示和输出：瞬时 流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时，还可以加装电磁比例调节阀和内置PID 调节功能。
Grylls6600差压式质量流量控制器与热式流量计不同，当使用气体转换系数时，Grylls6600差压式质量流量控制器没有附加的“比热容"误差。所以，即使测量气体与出厂时的标定气体不同，也不会影响测量精度。
标准参数(有关选配项，请联系Grylls） | |
产品性能参数 | Grylls6600系列差压式质量流量控制器 |
精度（调零后标准条件下） | ± 1%Full Scale |
传感器响应时间 | <1 ms |
重复性 | ± 0.2%Full Scale |
零点漂移和满量程漂移 | 0.2%Full Scale / ºCelsius / Atm |
工作范围和量程比 | 2% to 100% Full Scale / 50:1 (100:1 optional) |
最大可控流量 | 100% Full Scale |
最大可测流量 | 100% Full Scale |
典型响应时间 | <100 ms |
压力精度（大于1大气压时） | ±0.6% of reading |
压力精度（小于1大气压时） | ±0.1 PSIA |
温度精度 | ±0.75°C |