小型热蒸发真空镀膜机维护保养方法
时间：2023-06-06 阅读：310
清洁设备外表面
在操作完真空镀膜机后，需要对设备进行清洁。使用柔软的干布进行清洁，确保设备表面干净、无尘。如果表面有污渍，可以使用干净的湿布或专用清洁剂进行清洗。但注意不要使设备浸泡在水中。
清理和更换加热器和热电偶电极
真空镀膜机中的加热器和热电偶电极需要经常进行清理和更换。这些部分一般随着使用时间的增加而损坏和老化，也是设备操作异常的主要原因。每次操作后应注意检查它们的状态。如有需要，需要进行及时的维护和更换。
维护和更换机械泵及其配件
真空镀膜机的机械泵包括罗茨泵和分子泵，需要定期清洗和检查。同时，也需要经常检查泵的过滤器，如有损坏或污垢需要及时更换。机械泵安装后需要进行静压测试，测试完成后需要进行漏气测试。
维护和更换气体控制阀及其配件
真空镀膜机中的气体控制阀也需要定期清洗和检查。同时，也需要经常检查气体控制阀的密封性，如有泄漏需要及时进行维护和更换。还需要定期检查气管、阀门和电磁阀的工作状态，确保它们的正常运转。
经常进行真空泵油更换
真空镀膜机的真空泵油需要定期更换，防止油品氧化和污染影响设备使用效果。在更换过程中，需要清洁泵油箱并更换新的泵油，然后进行必要的空气泵油操作。
经常进行真空泄漏检查
真空镀膜机应经常进行真空泄漏检查，以确保设备的正常工作。检查时需要关闭机械泵和分子泵，封堵真空管路，然后测量真空度是否符合要求。如有问题，需要及时进行维护和修理。
通过以上维护和保养，可以使小型热蒸发真空镀膜机保持良好的状态，正常运转，从而提高研究和生产效率。