国产光学隔振平台具有非常好的动态和静态的刚性
时间：2022-12-01 阅读：811
国产光学隔振平台的特点：
1.具有非常好的隔振性能，特别是在低频2Hz-10Hz达到90%以上的隔振效率。
2.采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动，并做补偿。
3.采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm。
4.进口精密主动隔振光学平台。
5.隔振性能优异，广泛应用于扫描探针显微镜，原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪，半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等。
国产光学隔振平台主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器DVIA-M，每个支撑里面一般会有4个DVIA-M系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消除振动的驱动器，主要消除0.5-10Hz的外部振动,被动隔振系统部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。可以在低频范围（0.5-10Hz）提供非常好隔振性能，它可以应用于很多对振动要求非常高，甚至具有挑战的领域，比如高分辨率的光谱仪、高分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。