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IMPRESS 213深紫外调Q固体激光器
IMPRESS系列是一款高重频二极管泵浦调Q深紫外激光器,可以输出波长213nm和224nm,TEMoo模激光器可以作为光学度量和微处理,比如:半导体加工和显示修复。其短波长等属性也使得这款激光器可以应用于光学直写。该激光器可提供<9ns的超短脉冲,光束质量M2<1.6。通过RS232可实现电脑控制,也兼容其他触发控制。
应用领域:
光纤布拉格光栅制作
波长敏感处理
立体光刻
显示修复
微处理
半导体观察
替代了Ar-Ion的倍频激光
产品特点:
深紫外超短脉冲
二极管泵浦
槽安装激光二极管
光学特性好
高脉冲功率
价格低
“绿色光子学”
7天24小时工作
产品参数:
型号 | IMPRESS 213 | IMPRESS 224 |
波长,nm | 213 | 224 |
平均功率,mW | 150 | 300 |
脉冲宽度,ns | <7ns | <9ns |
单脉冲能量,μJ | >15μJ | >30μJ |
重复频率,kHz | 0.1-30kHz | 0.1-30kHz |
M2 | <1.6 | <1.6 |
所有的数据都是在重频为15kHz的情况下测量获得。
213nm激光器特性曲线&激光器光斑
224nm激光器特性曲线&激光器光斑
IMPRESS 213深紫外调Q固体激光器