微流控芯片的制造技术与材料选择说明
时间:2024-10-22 阅读:256
一、制造技术
微流控芯片的制造技术主要包括光刻、蚀刻、热压和注射成型等方法。
光刻技术:利用紫外光或其他光源通过掩膜版对涂覆在硅片或玻璃基板上的光敏材料进行曝光,经过显影处理后形成图案,再通过蚀刻形成流体通道。
蚀刻技术:包括湿法蚀刻和干法蚀刻,用于在硅、玻璃或聚合物基板上精确地制造出流体通道和其他微结构。
热压技术:将聚合物片材加热至软化点以上,在压力作用下与模具贴合,冷却后脱模得到所需的流体通道结构。
注射成型技术:适用于大规模生产,通过将熔融状态的聚合物注入模具中冷却成型,具有高效率和低成本的优势。
二、材料选择
微流控芯片的材料选择需考虑生物相容性、化学稳定性、机械强度、光学透明性以及加工难易程度等因素。
硅:具有良好的电学性能和机械强度,适用于高精度微加工,但成本较高且生物相容性较差。
玻璃:具有优异的化学稳定性和光学透明性,适合用于光学检测,但加工难度大且成本较高。
聚合物:具有良好的生物相容性和加工性能,成本相对较低,但机械强度和化学稳定性相对较差。
复合材料:结合多种材料的优点,既保证了机械强度又具有良好的生物相容性。