射频电源 APEX 1513 13.56MHz 1500W
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射频电源 APEX 1513 13.56MHz 1500W

AE APEX 1513射频电源 APEX 1513 13.56MHz 1500W

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-24 13:10:00
296
属性：
供货周期:现货；货号:3156110-008；应用领域:化工,电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；型号:APEX?1513；M/N:3156110-008；P/N:660-032596-023；频率:13.56MHz；设备状态:Refurblished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
3156110-008
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
型号
APEX?1513
M/N
3156110-008
P/N
660-032596-023
频率
13.56MHz
设备状态
Refurblished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

AE 射频电源 APEX 1513 13.56MHz 1500W RF Generator 灵活通用，AE Apex Series射频发生器和电源系统采用紧凑的模块化设计，适用于真空腔室安装。Apex 射频发生器和电源系统运用成熟可靠的射频转换技术，提高产品和工艺可靠性。高密度功率使其成为*等离子体工艺的理想选择。具有各种通信模型和可配置功能，使您能够很方便地完成平台的定制以及集成方法的开发。

详细介绍

AE 射频电源 APEX 1513 13.56MHz 1500W RF Generator 射频发生器功率密度高，能够实现紧凑型安装。在空间有限但性能至关重要的情况下，简化版APEX Series 射频发生器能为客户提供值得信赖的各种安装选项和功率。

AE APEX Series 射频发生器可以适配腔室、机架或框架等安装选项，在提供方便的同时还可以降低功率损耗。全系列RF Generator 有优秀的电弧管理能力，在13.56Mhz频率下，可选择1.5KW~10KW不同输出功率的设备。


技术参数

Power Level : 1.5, 3, and 5.5 kW

Frequencies : 13 MHz

Available Interfaces : RS-232, 25-pin analog, Ethernet, DeviceNet

AC Input : 208 VAC

Line Frequency : 50/60 Hz

Cooling : Water

Ambient Air Temperature Range : +5 to +40°C

Cooling Water Temperature Range : +5 to +35°C

Advanced Features : Pulsing, CEX


AE 射频电源 APEX 1513 13.56MHz 1500W RF Generator 射频发生器

优点：

  1. 灵活性提高，可直接集成工艺机台

  2. 等离子操作稳定化

  3. 提高快速电弧管理的良品率

  4. 易于根据客户的工艺要求进行定制和配置


特点：

  1. 流线型设计，实现大功率密度

  2. 可选腔室安装、工具框架安装、机架安装和鞋盒式安装

  3. 宽带控制回路

  4. 可选脉冲控制

  5. 高速电弧管理


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