Advanced Energy/优仪 品牌
经销商厂商性质
扬州市所在地
AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015
面议AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W
面议AE 射频电源 Paramount MF 15002 15KW
面议AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-5A 13.56MHz 500W
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW
面议MKS 射频电源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz
面议AE 射频电源 RFG 1251 13.56MHz 1250W
面议AE 射频电源 RFG 1250 13.56MHz 1250W
面议AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW
面议KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2
面议AE 射频电源 APEX 10KW13 13.56MHz 10KW RF Generator 射频发生器功率密度高,能够实现紧凑型安装。在空间有限但性能至关重要的情况下,简化版APEX Series 射频发生器能为客户提供值得信赖的各种安装选项和功率。
AE APEX Series 射频发生器可以适配腔室、机架或框架等安装选项,在提供方便的同时还可以降低功率损耗。全系列RF Generator 有优秀的电弧管理能力,在13.56Mhz频率下,可选择1.5KW~10KW不同输出功率的设备。
技术参数
Power Level : 1.5, 3, and 5.5 kW
Frequencies : 13 MHz
Available Interfaces : RS-232, 25-pin analog, Ethernet, DeviceNet
AC Input : 208 VAC
Line Frequency : 50/60 Hz
Cooling : Water
Ambient Air Temperature Range : +5 to +40°C
Cooling Water Temperature Range : +5 to +35°C
Advanced Features : Pulsing, CEX
AE 射频电源 APEX 10KW13 13.56MHz 10KW RF Generator 射频发生器
优点:
灵活性提高,可直接集成工艺机台
等离子操作稳定化
提高快速电弧管理的良品率
易于根据客户的工艺要求进行定制和配置
特点:
流线型设计,实现大功率密度
可选腔室安装、工具框架安装、机架安装和鞋盒式安装
宽带控制回路
可选脉冲控制
高速电弧管理