Advanced Energy/优仪 品牌
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扬州市所在地
AE Fixed Match 半导体RF匹配器
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COMET 射频网络匹配器 1000828 RF Match
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COMET 射频网络匹配器 1034138 RF Match
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DAIHEN 射频网络匹配器 RMN-100B2 RF Match
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DAIHEN 射频网络匹配器 NX-HRM-30B4
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ENI 射频网络匹配器 MWH-100 13.56MHz 10KW
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DAIHEN 射频网络匹配器 AMN-50L-V 60MHz
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DAIHEN 射频网络匹配器 RMN-75A2 RF Match
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DAIHEN 射频网络匹配器 FRM-50D RF Match
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DAIHEN 射频网络匹配器 FRM-30A14 RF Match
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COMET 射频网络匹配器 101187 RF Match
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ASE 射频网络匹配器 AMV-10000FX45
面议AE Navigator Series 射频匹配网络可实现快速、精确、可靠的数字调谐匹配，NavigatorⅡ 射频匹配器 13.56MHz RF Matching Box 射频匹配网络使用*的数字技术可缩短调谐和匹配响应时间。
AE Navigator Series 射频匹配网络具有优秀的射频等离子体控制方法，高级脉冲控制，可在脉冲时调谐，通过集成的内部射频传感器深入监测等离子体。内部射频传感器可实时分析过程功率和阻抗，帮助客户快速识别并明显减少工艺偏差。选配的虚拟前面板软件，可通过用户计算机进行监测和控制。
NavigatorⅡ 射频匹配器 13.56MHz RF Matching Box 射频匹配网络技术参数
Power ：1 ~ 30KW
Frequency ：400KHz ~ 60MHz
Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable
优点
1.快速调谐和缩短匹配响应时间
2.加强过程控制
3.提高设备效率和产品产量
4.提高可靠性，降低拥有成本
5.自定义各种腔室和工艺过程
特点
1.数字架构，采用基于模型的快速调谐算法
2.脉冲射频供电
3.扫频操作
4.互调失真（IMD）抗扰，针对多频率应用
5.实时工艺功率和阻抗测量
