AE LFGS 1250D 射频电源 300-500KHz 1250W RF Generator 是经过现场长期验证的具有高可靠性的射频发生器。灵活多用途的变频AE LFGS Series射频发生器（1250W，40~500KHz）适用于各种不同的半导体和通用等离子体工艺应用，包括溅射、反应离子蚀刻、等离子体沉积、聚合反应和表面处理。AE LFGS Series 电源设备采用紧凑的19英寸机架安装式风冷设计，安装过程简单，可节省宝贵空间。LFGS电源采用半桥式D类放大器设计，具有市场上较低的反射功率。

AE LFGS 1250D 射频电源 300-500KHz 1250W 参数规格

设备品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：AE LFGS 1250D

AC 电源输入：187~240V，10A，50/60Hz

RF 电源输出：1250W，300~500kHz

通讯接口：User Port，Diagnostic，Matching，RS-232C，CEX In/Out

设备散热：风冷散热

AE LFGS 1250D 优点

1.支持多种不同应用

2.具有市场上较低的发射功率

3.易于安装

4.高效利用宝贵的空间

AE LFGS 1250D 特点

1.变频

2.风冷式散热

3.改进的操作菜单

4.有效前面板

5.脉冲模式（0~10KHz）CEX操作模式2个模拟用户端口

6.RS-232、以太网和Profibus通信