Advanced Energy/优仪 品牌
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扬州市所在地
AE Fixed Match 半导体RF匹配器
面议COMET 射频网络匹配器 1000828 RF Match
面议COMET 射频网络匹配器 1034138 RF Match
面议DAIHEN 射频网络匹配器 RMN-100B2 RF Match
面议DAIHEN 射频网络匹配器 NX-HRM-30B4
面议ENI 射频网络匹配器 MWH-100 13.56MHz 10KW
面议DAIHEN 射频网络匹配器 AMN-50L-V 60MHz
面议DAIHEN 射频网络匹配器 RMN-75A2 RF Match
面议DAIHEN 射频网络匹配器 FRM-50D RF Match
面议DAIHEN 射频网络匹配器 FRM-30A14 RF Match
面议COMET 射频网络匹配器 101187 RF Match
面议ASE 射频网络匹配器 AMV-10000FX45
面议AE Mercury 10013 水星 射频网络匹配器 RF Auto Matcher Mercury系列射频网络匹配器, 主要用于传输线上,以此来达到几乎全部高频微波信号均能传递至负载点的目的,减少信号反射回来源点,提升能源效益。在射频溅射系统中,靶材于壳体近似一个电容器,对电源来说是电容性负载,通过调节射频网络匹配器中的可调节电容,可以使得这个容性负载的阻抗达到适宜状态,进而使射频电源的输出功率得到高效的利用。
AE Mercury Series 设备特点:
使等离子体能够高效的吸收射频电源提供的能量
可以提高靶的溅射速率
能够加快成膜的速度
AE Mercury 10013 水星 射频网络匹配器 技术参数:
LF Input :<500KHz / 600V MAX
AC Input : 115 VAC , 50/60Hz , 0.5A / ~250V T 0.6A
Net Dimensions and Weight : 400*240*400mm / 11.8Kg
频率 :13.56MHz
输出功率 :10KW