MKS(ENI) 射频电源 ENI GHW-50A 13.56MHz 5000W 是具有高可靠性的射频等离子发生器GHW 系列射频发电机在 13.56 MHz 的频率下提供不同额定输出功率的设备选择。该系列设备非常适用于集成电路、平板显示器和数据存储设备制造过程中的等离子增强化学气相沉积 (PECVD)、高密度等离子 CVD (HDPCVD)、蚀刻和其他薄膜应用。

MKS(ENI) 射频电源 ENI GHW-50A 13.56MHz 5000W

规格

类型：GHW 系列 13.56 MHz 射频等离子发生器

频率：13.56MHz ±0.005%

输出功率：GHW-50A：5000 W

负载阻抗范围：无限

射频稳定性/杂散输出：无条件稳定运行限制内的任何负载 < -45dBc

谐波输出和失真：< -40dBc

负载失配保护：在反向功率达到预编程水平=额定功率的20%后，自动正向功率限制通常为0.25ms

监管容忍度：GHW-50A＞500W：±1.5%SP；＜500W：±10.0W

输入交流电源：GHW-50A：200/208VAC，3/PE~(3W+G)30A/相，380/400VAC，3/PE~(3W+G)15A/相

射频连接器：N型

界面：标准：RS-232 Subminiature Type-D 9 针数字；可选的自定义接口卡可用。

读出：数字读数显示频率和正向、反射和负载功率。

机架安装：提供 EIA（标准）19 英寸适配器

冷却系统：GHW-50A 水流为7.6L/min，水温5℃~35℃。提供接受3/8英寸外(NPT)管道螺纹连接。

尺寸：GHW-50A ：8.72× 19x 22.1英寸（221 × 483 × 560毫米），不包括手柄和连接器

重量：GHW-50A：41.3 公斤（91磅）