MKS 射频电源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W
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MKS 射频电源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W

MKS（ENI）GHW-85AMKS 射频电源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-24 11:22:55
192
属性：
供货周期:现货；货号:GHW80A-13DF2L0-001；应用领域:化工,电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；型号:GHW-85A；M/N:GHW80A-13DF2L0-001；P/N:27-274809-00；频率:13.56MHz；输出功率:8500W；设备状态:Refurblished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
GHW80A-13DF2L0-001
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
型号
GHW-85A
M/N
GHW80A-13DF2L0-001
P/N
27-274809-00
频率
13.56MHz
输出功率
8500W
设备状态
Refurblished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

MKS 射频电源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W 高性能射频发生器可以提供经过现场验证的可靠性、优秀的稳定性和良好的可重复性，以实现高正常运行时间和工艺良率。

详细介绍

MKS 射频电源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W 是MKS具有高可靠性的射频等离子发生器，GHW 系列射频发电机在 13.56 MHz 的频率下提供不同额定输出功率的设备选择。该系列设备非常适用于集成电路、平板显示器和数据存储设备制造过程中的等离子增强化学气相沉积 (PECVD)、高密度等离子 CVD (HDPCVD)、蚀刻和其他薄膜应用。


MKS 射频电源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W RF Generator

规格

类型：GHW 系列 13.56 MHz 射频等离子发生器

AC输入：3/PE~  200-208V  50-60Hz 65A max

频率：13.56MHz ±0.005%

输出功率：8500 W max

负载阻抗范围：无限

射频稳定性/杂散输出：无条件稳定运行限制内的任何负载 < -45dBc

谐波输出和失真：< -40dBc

射频连接器：N型

界面：标准：RS-232 Subminiature Type-D 9 针数字；可选的自定义接口卡可用。

读出：数字读数显示频率和正向、反射和负载功率。

机架安装：提供 EIA（标准）19 英寸适配器

重量：30公斤（65磅）


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