ULVAC 射频电源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W
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ULVAC 射频电源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W

ULVAC RFS-2705A3ULVAC 射频电源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-23 13:56:35
186
属性：
供货周期:现货；货号:56170243；应用领域:化工,电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；型号:RFS-2705A3；L/N:56170243；频率:27.12MHz；输出功率:500W；设备状态:Refurblished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
56170243
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
型号
RFS-2705A3
L/N
56170243
频率
27.12MHz
输出功率
500W
设备状态
Refurblished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

ULVAC 射频电源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W 通过采用高效的射频放大器实现设备的紧凑和轻巧设计，射频电源内置自动匹配控制器功能，射频电源的功率控制和匹配系统控制可以单独通过主机进行。

详细介绍

ULVAC 射频电源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W RF Generator 射频发生器 通过采用高效的射频放大器实现设备的紧凑和轻巧设计，射频电源内置自动匹配控制器功能，射频电源的功率控制和匹配系统控制可以单独通过主机进行。主要应用领域包括溅射和化学汽相淀积、等离子体刻蚀、射频离子源、中和剂等。


ULVAC射频电源 RFS Series 特点

功率范围：0.5kW ~ 5kW

采用高效放大器：通过具有良好的功率转换效率的射频电路结构，节约能源

高速自动匹配：用高速算法实现高速自动匹配

射频功率发生器内部配备了自动匹配功能：与发电机组本身匹配的系统控制是可能的，还能手动操作射频功率发生器和匹配箱，配合内部控制器操作

支持灵活的控制配置：可对外进行模拟和串行通信控制

高可靠性：设计中结合了多年的设备制造经验


ULVAC 射频电源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W RF Generator 规格

AC 输入：AC250V，1A，3 phase，50/60Hz，1.3KVA

RF 输出：500W，27.12MHz

输出阻抗：50Ω

谐波失真率：-35dB或更低

设备重量：19.5k

散热方式：水冷散热


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