MKS（ENI）射频电源 ACG-5 13.56MHz 500W RF Generator 射频发生器 提供一套紧凑、轻量级的射频产品，具有各种用户界面和功能，包括自动频率调谐、快速瞬态恢复和脉冲。较少的零件数量和优良的设计让ACG系列产品即使是在要求苛刻的射频等离子体的应用中也能进行高可靠性的运作。该系列设备采用高效率的功率放大器，降低杂散输，提高射频的稳定性及射频功率裕度。                                                

MKS（ENI）射频电源 ACG-5 13.56MHz 500W 射频等离子发生器涵盖了从低频率到高频率的全频率范围，专为高功率密度和额外净空空间设计，提供现场验证的可靠性、优秀的稳定性和可重复性，以实现高运行时间和产量。